作为单晶衬底加工的最后一道工艺，化学机械抛光是实现碳化硅衬底全局平坦化的常用方法，也是保证被加工表面实现超光滑无缺陷。 碳化硅机械加工工艺流程此前，我们探讨了降低碳化硅衬...